Mikrosystemtechnik

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

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Author: Ulrich Hilleringmann

Publisher: Springer-Verlag

ISBN: 3835190229

Category: Technology & Engineering

Page: 274

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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

Mikrosystemtechnik

Konzepte und Anwendungen

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Author: Ulrich Mescheder

Publisher: Springer-Verlag

ISBN: 3322848787

Category: Technology & Engineering

Page: 292

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Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile der Mikrosystemtechnik erfolgreich nutzen zu können benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und der Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle und Festigung des behandelten Stoffes. Neben wichtigen Korrekturen informiert die zweite Auflage ergänzend über neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren sowie über Mikroschalter im Bereich Aktorik. Im Internet finden sich unter http://mescheder.net/ulrich/ Ergänzungen zum Buch und Lösungen zu den Aufgaben.

Mikrosystemtechnik

Vom Transistor zum Biochip

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Author: Stephanus Büttgenbach

Publisher: Springer-Verlag

ISBN: 3662497735

Category: Technology & Engineering

Page: 151

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Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her? Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt: von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter. Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung. Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.

Mikrosystemtechnik

Zukunftsszenarien

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Author: Alfons Botthof,Joachim Pelka

Publisher: Springer-Verlag

ISBN: 3662087596

Category: Technology & Engineering

Page: 119

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Mikrosystemtechnik, entstanden aus der Ergänzung der Mikroelektronik durch andere Mikrotechniken, ermöglicht heute die Realisierung vollständiger Systeme für unterschiedlichste Anwendungen auf kleinstem Raum. Die Bewertung des Potenzials einer Mikrosystemtechnik von morgen verlangt einen umfassenden Blick in die weitere Zukunft. Um Trends und Gestaltungsoptionen zu durchdenken, trafen sich Experten und herausragende Persönlichkeiten aus dem In- und Ausland. Diese Expertengespräche spannten einen Bogen von der Mikroelektronik-basierten drahtlosen Telekommunikationstechnik über die Fragen optischer Mikrosysteme bis hin zu den "denkenden Gegenständen" des MIT Media Lab. Neben generellen Betrachtungen zu einer auf das Jahr 2020 ausgerichteten Mikrosystemtechnik wurden auch die Grenzbereiche zu den Life Sciences, zur Mikrooptik und zur Mikrorobotik vertieft.

Mikrosystemtechnik

Grundlagen : Lehr- und Übungsbuch

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Author: Andreas Mohnke

Publisher: Hanser Verlag

ISBN: 9783446400078

Category: Microelectronics

Page: 173

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Einführung in die Mikrosystemtechnik

Grundlagen und Praxisbeispiele

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Author: Friedemann Völklein,Thomas Zetterer

Publisher: Springer-Verlag

ISBN: 3322915727

Category: Technology & Engineering

Page: 400

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Mikrosystemtechnik trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen dieser künftigen Schlüsseltechnologie Rechnung. Als Lehrbuch konzipiert, erschließt es dem Leser Grundlagen und Anwendungen komplexer Mikrosysteme, in denen elektronische, mechanische und optische Funktionselemente auf kleinstem Raum integriert sind.

Mikrosystemtechnik für Ingenieure

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Author: Wolfgang Menz,Oliver Paul

Publisher: John Wiley & Sons

ISBN: 3527663460

Category: Technology & Engineering

Page: 590

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Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.

Lehrbuch Mikrosystemtechnik

Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

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Author: Norbert Schwesinger,Carolin Dehne,Frederic Adler

Publisher: Oldenbourg Verlag

ISBN: 3486594117

Category: Technology & Engineering

Page: 592

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Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und größeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.

Mikrosystemtechnik - Wann kommt der Marktdurchbruch?

Miniaturisierungsstrategien im Technologiewettbewerb zwischen USA, Japan und Deutschland

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Author: Rainer Bierhals,Kerstin Cuhls,Volker Hüntrup,Matthias Schünemann,Ulrich Thies,Hartmut Weule

Publisher: Springer-Verlag

ISBN: 3642576656

Category: Business & Economics

Page: 232

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Die Zukunft der Mikrosystemtechnik

Chancen, Risiken, Wachstumsmärkte

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Author: Thomas Heimer,Matthias Werner

Publisher: John Wiley & Sons

ISBN: 3527608877

Category: Technology & Engineering

Page: 207

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Die Mikrosystemtechnik (MST) stellt bereits heute einen wichtigen wirtschaftlichen Faktor für zahlreiche Industrieunternehmen dar. Mit der MST verbinden sich sehr große Erwartungen, daß auch die nahe Zukunft maßgebliche Innovationen, neue Technologien und vor allem darauf basierende, neue kommerzielle Produkte hervorbringen wird. Ausgehend von kombinierten elektronischen, mechanischen oder chemischen Mikrokomponenten wie Elektronik, Sensoren, Aktoren, autarken Energieversorgungen sind Anwendungen denkbar in Produktion, Kommunikation, Datenverarbeitung, Kraftfahrzeugtechnik, Medizin und Weltraumforschung bis hin zu kompletten miniaturisierten chemischen Produktionsanlagen, autarken, mobilen und selbsttätigen Analysesystemen, Miniatursatelliten, Mensch-Maschine-Schnittstellen oder eine umweltfreundliche Einweg-Mikrosystemtechnik auf der Basis von Polymeren. Wohin genau aber soll die Forschung und Entwicklung gehen? Mit welcher Art Produkt können die aufgewandten Geldmittel gerechtfertigt werden? Wo genau liegen die zu erschließenden Wachstumsmärkte? Wie können Forschungsinstitutionen, Unternehmen und Projektträger erfolgreich sein und in der globalen Wirtschaft konkurrieren? Nur zielstrebige, überlegte F & E Strategien garantieren das Überleben von Unternehmen und die Technologieführerschaft unter den Nationen. Von ganz wesentlicher Bedeutung ist daher die möglichst zuverlässige Beantwortung der Frage, in welche Richtungen sich die MST entwickeln wird, und mit welchen Technologien und Produkten kommerzielle Erfolge erzielt werden können. Dieses Buch widmet sich ausführlich diesem Thema, und liefert mit der Auswertung der bisher größten und detailliertesten Studie zur MST unverzichtbare Informationen für Forschung, Industrie, Investoren und Berater zugleich, die alle für die Zukunft der MST eine wichtige Rolle spielen. Dabei werden zehn wichtige Zukunftsfelder mit modernsten mathematischen und statistischen Auswertungsverfahren identifiziert, herausgearbeitet und für die Leser klar dargestellt.

MEMS in der Mikrosystemtechnik

Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

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Author: Markus Glück

Publisher: Springer-Verlag

ISBN: 3663107787

Category: Technology & Engineering

Page: 212

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Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für EMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen.

Mikrosystemtechnik auf Silizium

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Author: Ulrich Hilleringmann

Publisher: Springer-Verlag

ISBN: 3322927660

Category: Technology & Engineering

Page: 229

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Die Mikrosystemtechnik wird in ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Mikromechanik von der Siliziumtechnologie beherrscht. Materialeigen schaften und insbesondere die verbreitete, hoch entwickelte Proze߭ technik haben andere Materialien weitgehend verdrängt. Dagegen ist das Halbleitermaterial Silizium für Anwendungen der Integrierten Optik bislang wegen seiner ungünstigen optischen Eigen schaften nur unzureichend beachtet worden. Erst die Mikrosystemtechnik hat zur Entwicklung einer geeigneten Integrationstechnik geführt, um die "Mechatronik" um integriert-optische Komponenten zu erweitern. Ziel dieses Buches ist es, Wege zur systemgerechten Einbindung der Integrierten Optik in die mikroelektronische Prozeßführung aufzuzeigen und die Eignung der Technologie zur monolithischen Integration von optischen, mikromechanischen und mikroelektronischen Bauelementen auf einem Siliziumchip anhand real gefertigter Muster zu demonstrieren. Die Basis der monolithischen Systemintegration auf Silizium wird ausgehend von der mikroelektronischen Prozeßtechnik diskutiert. Auf der Grundlage der Halbleitertechnologie zur Schaltungsintegration aufbauend werden mögliche Bauformen der Wellenleiter und der mikro mechanischen Komponenten zum Einbau in den CMOS-Prozeß verglichen. Vor-und Nachteile der Schnittstellen und der verschiedenen Integrationstechniken werden angesprochen und anhand realer Muster vergleichend diskutiert. Zur Abrundung des Themas werden einige Komponenten zur Verbesserung der mikroelektronischen Schaltungen im monolithischen Integrationsprozeß angesprochen, um eine schnelle, präzise Signalverarbeitung in den MOS-Schaltungen zu ermöglichen. Für die umfangreichen Arbeiten, die mit der Erstellung dieses Buches verbunden waren, möchte ich mich bei Herrn Prof. K. Goser, Herrn Prof. K. Schumacher, den Herren Doktoren S. Adams, T. Harms, C. Heite, K.

Mikrosystemtechnik - Branche und Technologien im Überblick

Ergebnisse einer Projektarbeit für den schnellen Einstieg in die Schlüsseltechnologie MST

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Author: Robert Lux,Mario Lichtenberg,Sebastian Schünemann,Jens Dietel

Publisher: GRIN Verlag

ISBN: 3656373108

Category: Technology & Engineering

Page: 53

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Studienarbeit aus dem Jahr 2012 im Fachbereich Ingenieurwissenschaften - Maschinenbau, Note: 1,0, Beuth Hochschule für Technik Berlin (Fachbereich VIII), Sprache: Deutsch, Abstract: Smart-Phones, USB-Sticks, Touchscreens, Sensoren für Airbags, Taschenrechner und Laptops - All diese Gegenstände haben eine Gemeinsamkeit: Sie sind mit Mikrosystemen bestückt und nur dank dieser in Form und Größe zu günstigen Preisen erwerbbar. Mit der Mikrosystemtechnik (MST) können miniaturisierte Bauteile durch Anwendung von verschiedenen Verfahren hergestellt und zu Systemen integriert werden. Die Entwicklung und die Produktion von Mikrosystemen hat in den letzten Jahren fast unbemerkt einen großen Teil unseres Lebens beeinflusst. Der Technologiewandel ist dabei so rasant, dass es sich für Absolventen (des Maschinenbaus) lohnt, sich damit zu beschäftigen. In diesem Bericht soll ein Überblick über die Branche der Mikrosystemtechnik gegeben, grundlegende Technologien und Rahmenbedingungen bekannt gemacht und aktuelle Potentiale Absolventen (des Maschinenbaus) aufgezeigt werden. Der Bericht setzt sich aus insgesamt vier Kapiteln zusammen, in welchen auf insgesamt sechs Seiten eine knappe Übersicht aggregiert ist. Im vorausgehenden Glossar werden gebräuchliche Abkürzungen der MST erklärt. Der Anhang und das Literaturverzeichnis besteht zum einen aus der dazugehörigen Präsentation der Arbeit und zum anderen aus relevanten Quellenverweisen. Der interessierte Leser soll damit in kurzer Zeit in das Thema Mikrosystemtechnik einsteigen können und schnell zum gewünschten Ziel (z.B. Kontakte zu ausbildenden Hochschulen, Forschungsinstituten, MST-Clustern, MST-Studien, MST-Verbänden, relevanter Literatur usw.) kommen.

Einführung in die Mikrosystemtechnik

ein Kursbuch für Studierende

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Author: Gerald Gerlach,Wolfram Dötzel

Publisher: Hanser Verlag

ISBN: 9783446225589

Category: Microelectromechanical systems

Page: 384

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